液态氩气 合成氨尾气提氩有低温精馏法和冷凝蒸发法，典型流程有三塔提氩流程和两塔提氩流程及带热泵循环提氩装置三种，其生产工艺包括液态氩气原料气净化、脱氢、脱甲烷和脱氮四步工序。